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RTP-滑动式快速退火炉,产品应用:该系列电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速升降温。应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。也同样适用于要求升降温速度比较快的气氛烧结、真空淬火退火及CVD等工艺实验。
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