高真空扩散泵拥有6大特点,您是否已掌握?
更新时间:2023-03-03 点击次数:2072
高真空扩散泵是一种常用于真空体系中的机械泵,其工作原理是利用扩散过程将气体推到高压区域,然后通过机械泵将气体排除。扩散泵具有较高的排气速度和较强的抽气能力,能够实现较高的真空度。
其结构包括扩散室、扩散板、灯丝和冷却水夹套等。扩散室是一个密闭的腔体,内置一块扩散板,其周围被包围着冷却水夹套。灯丝作为热源,加热扩散板,从而使扩散板表面的气体蒸气化,将气体分子推向高压区域。冷却水夹套则负责保持扩散板和灯丝的温度,以避免过热损坏。
高真空扩散泵可用于真空镀膜、真空干燥、真空处理、真空灌装和真空热处等领域。其优点包括具有较高的抽气速率、较低的泵速和良好的泵空间均匀性等。但其缺点是需要加热后才能开始工作,同时还存在着泵速度降低、扩散板炭化以及对高温敏感等问题。
高真空扩散泵是一种将气体扩散到较高真空度的重要设备,其特点包括:
1.适用于高真空条件:本产品通常可达到10^-7Pa或更高的真空度,适用于高真空和超高真空体系;
2.快速抽气速度:本产品的抽气速度可以达到几千立方米每小时,能够在短时间内将气体抽出;
3.高漏磁性:本产品通常采用无磁材料制成,漏磁极小,对实验环境不产生干扰;
4.需要外部冷却:本产品的工作原理是在高温下将液体或气态的扩散介质分子扩散成气体,因此需要外部冷却来保持泵壳温度不超过规定值;
5.可靠性高:结构简单,无易损件,使用寿命长,可靠性高;
6.维护成本低:本产品维护成本低,常规保养即可,使用寿命长。