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CVD管式炉具有九大特点,您都知道几点?

更新时间:2021-04-06    点击次数:5595
  CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成,温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 
  本产品采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

 

  应用范围:
  CVD管式炉是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
 
  产品特点:
  1、采用K型热电偶测温,测温准备;
  2、气路连接方式采用了快速连接法兰结构;
  3、采用石英管、两端用不锈钢法兰密封;
  4、取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作;
  5、取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能;
  6、采用双层壳体结构,内层为不锈钢结构,外壳为碳钢;
  7、双层炉壳间配有风冷系统,能使炉体表面快速降温,炉壳表面温度小于60度;
  8、加热炉膛由上下两部分组成,其中上部炉膛可整体向后翻转110°,方便取放、观察实验物料,炉膛材料采用进口高纯氧化铝多晶体纤维材料制成,节能50%,温场均匀;
  9、加热元件采用高电阻合金丝OCr27Al7Mo2,电阻丝位于炉膛四周,温度均匀性高,温场效果较好。
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