您好,欢迎进入天津中环电炉股份有限公司网站!
一键分享网站到:
产品中心Products 当前位置: 首页> 产品中心> CVD系统/PECVD系统 > PECVD系统 > 1200℃预加热滑动双温区PECVD系统

1200℃预加热滑动双温区PECVD系统

更新时间: 2024-05-09

访问次数: 21575

产品报价:

产品简介: PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

详细资料:

产品应用:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成:

PECVD系统配置:

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

3.预加热开启式管式电炉

4.等离子射频电源

5.多路质量流量控制系统

6.真空系统(可选配中真空或高真空)  

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

天津中环电炉股份有限公司  地址:天津市北辰区北辰科技园区双川道11号

 

 如果你对该产品感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫 关注我们
扫一扫 加微信
版权所有 © 2024 天津中环电炉股份有限公司  ICP备案号: 京ICP证000000号